成都某半导体设备鑫霖环保芯片制造技术厂，晶圆生产制作步骤中引起含硅、氟的特殊性废液，构思加工市场规模1200吨/日。废液化学成分有难度，含有nm级硅粒状及盐酸，傳統加工做法不好标准。 生产废水组成及起源 重点环境固体废弃物 ：悬浊液硅（100-500nm孔径）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 因素多种工序 ：晶圆刻蚀焦化化工废水（45%）、CMP耐腐蚀机械制造抛光处理焦化化工废水（40%）、设配清洗道路水（15%） 外理生产工艺过程 信息化进行"药剂学沉淀物+特总膜溶合"水平途径： 钙盐沉定 ：加药氯化钙去掉氟亚铁离子（转化CaF2沉积） 斜管沉淀池化学反应 ：软型斜板沉淀池剂满足胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜挪作他用微细小粒 反固化系統 ：脱盐率>98%，回收公司率75% 多效蒸发成果 ：浓水段进行氟化物零排污 以后结果 氟化物溶度：<8mg/L（最低部委一层规则10mg/L） 硅含锌量：<5mg/L 水土资源的循环率：70%用作加热塔保湿补水 危险废弃物减量化：蒸馏食物残渣量较传统式工艺技术限制60%