某半导生产制造工厂因晶圆拆洗多种工序存在含氨生活污水,的水量200吨/天。生活污自来水中除氯离子外还包含有氟化物和进样器巨资属,正确处理困难大。各地污染物标准规范氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水化学成分及种类
晶圆洗掉废水处理(基本的来源):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀步骤废水处理方法:含少量铜、镍等天价属,pH值变化大
CMP抛光废气:含硅颗粒肥料及氯离子
正确处理加工过程流程步骤
适用"化学上的悠长岁月中+膜分离处理+折点氯化"组合起来鑫霖环保:
预操作
:添加CaCl2除氟,有效控制pH在7.5-8.
反渗透装置软件系统
:避开0.01μm以内颗料物
ro反渗透工作会更精炼
:将氧化还原电位萃取至1000mg/L以内
折点氯化
:精准管理氯加药系统量,将高锰酸盐指数转换为氦气
阴离子互换
:服务保障天价属合格
决定效用
高锰酸盐指数不稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属量不低于加测限
水造纸废水处理率达75%
工业废水会产生量下降40%