某半导体设备集成ic造成厂在晶圆工作时中，利用硅烷做硅本质制造，烟气洗衣塔制造高渗透压含硅废水外理工艺外理工艺。废水外理工艺外理工艺包括pH起伏较大大（2-11）、硅含碳量高的优势，民俗外理方式 易发现硅垢空气能管道堵塞大问题。 废水处理方法物质及來源 电镀废水通常成份为： 溶解度性硅酸盐 ：SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢腐蚀钠 ：洗衣塔强酸强碱洗衣液残余的 顆粒硅 ：纳米技术级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：主要原料钙镁离子带往 解决生产技术程序 科技创新选取"两极采和+膜过滤器+蒸发器成果"工艺设计： 一层中合 ：用CaO自动调节pH至4-5，自动生成硅酸钙水解，硅避开率60%。 五级结合 ：加Na₂CO₃将pH上升至9，进十步沉淀自己已用硅，串并联用镁剂除砷。 超滤膜软件 ：0.02μm瓷质膜吸附nm级硅顆粒，通量维持在80LMH。 MVR化掉器 ：萃取高盐废水处理工艺，析出出Na₂SO₄副成品，水循环率超90%。 以后效率 总硅从1500mg/L降到5mg/L以內 砷含铁从0.8mg/L调至0.01mg/L 软件无水垢运营已经超过2年 历年回收并浓盐酸钠多晶体约800吨