该厂为84英寸晶圆产量线设施的超蒸馏水程序，每星期存在含硅废水清理方法150吨。废水清理方法中虽无血本属，但硅水分含量高易积垢，且功率电阻率需能够满足18MΩ·cm才使用。和原有清理工学艺没办法能够满足新废止的《自动化实业水环境工业废气废气规格》（GB39731-2020）特别废气最大限度。 废水处理工艺化学物质特性 主耍污染问题物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（粒度0.1-1μm） 特别标准要求 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水源性能指标 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物形态特征较为复杂 操作艺程序 技术创新进行"梯级膜剥离 +电去铝离子"组合构成工艺设备： 微滤预进行处理 ：1μm卫浴陶瓷膜屏蔽广告大粒状硅，通量确保80LMH 亚铁离子对换光敏树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选定 性吸附剂硅酸原子核 一级RO机系统 ：一号段再利用率60%，第二点段选用高脱硼膜器件 EDI电去阳离子 ：感应电流黏度2A/m²，持继删去残留物亚铁离子 UV紫外线除臭 ：254nm太阳光的紫外线的线的用药量40mJ/cm² 技能创新举措 激发专门用阻硅剂（有机会胺类包覆物），廷迟膜弄脏周期长3倍 EDI模块电源转型升级流道定制，硅洗去率优化至99.8% 网络硅分享仪（测试范畴0.1-500μg/L）确保优质有效控制 启动认真总结 经第一方查重： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降低0.3μg/L 程序环保再生资源回提取率从原40%优化至68% 膜进行更换时间延长时间至5年，年操作生产成本降低35%