该晶圆生產生產厂靠近华东地地,通常生產89英寸半导晶圆,单日废污水污染物的标准量约800吨。是由于生產时候中的使用不少盐酸实行晶圆蚀刻,产生废污水下氟化物溶液浓度可高达200-300mg/L,远超国度污染物的标准的标准(10mg/L下述)。
废水处理工艺化学成分及的来源
废水处理方法主要是出于三关键点:
晶圆蚀刻生产工艺
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸钠及一点高价属
化学工业机械设备打磨抛光(CMP)生活污水
:含納米级硅颗粒肥料、有机化学络合剂
系统擦洗废水处理工艺
:含异丙醇、氯离子等有机质物
处里工艺设计操作流程
应用"生物沉垫+混泥土沉垫+层次过滤水"三级视频工作系统的:
4级进行处理
:添加氯化钙和氢脱色钙,形成了氟化钙悠长岁月中,氟化物消除率达85%
特殊加工
:修改PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),彻底清除溶液态生态破坏物
二级治理
:采用多物质筛选器和催化活性碳粘附,水流氟化物氨水浓度安全在8mg/L一些
重中之重程序是指:pH自行转换程序、斜管放置池、板框压滤(厌氧颗粒污泥烘干)。
既定效用
顶目启动3年监测技术数据信息呈现:
氟化物平衡浓硫酸浓度:7.2mg/L(高于发展中国家规则)
COD的还原率:92%
飞灰含水分率:≤65%
年回收处理氟化钙副產品约150吨,变现信息化利于