好项目环境
某超大半导体行业营造品牌坐落于长半圆中南部,通常种植晶圆和心片。在种植流程中,晶圆切割器和抛光剂第一阶段产生了大批考虑液废污水,平均排出量约50吨。因为废污硫酸铜溶液所含高溶度悬浮物物、废金属铝离子及设计生成剂,随便排出会对区域环境导致比较严重的污染,品牌亟需鑫霖环保技术专业清理设施设备。
废液基本成分及种类
研磨抛光剂液废液具体起出于晶圆代加工中的化学反应厂家抛光剂(CMP)加工过程,具体破坏物属于:
悬浮物颗料物
:二空气氧化的硅、空气氧化的铝等考虑粒子,粒度分布在0.1-1μm,有机废气浓度更是高达2000mg/L。
复合化合物
:铜、铁、锌等,位于抛光处理垫磨花及晶圆面材料层,铜铝离子氨水浓度约50mg/L。
无机加上剂
:其中包括面活性氧剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强含碱成分
:pH值下降大,一般在2-11两者。
治理 生产工艺的流程
面对化工废水性质,采取“预治理 +生物化+纵深治理 ”组合式工序:
可以调节池
:均匀生活饮用水用水量,加酸碱度调高pH至碱性。
混泥土奠定
:加药PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),消除浮窗物和胶体溶液,沉降后SS消除率>90%。
催化燃烧反应氧化反应
:利用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机化学移除剂,COD避开率达60%。
生物制品补救
:MBR膜生物制品作用器进十步光降解其他生产物,COD调至100mg/L一下。
铁离子更换
:专门的光敏树脂吸咐铜化合物,溢水铜分量<0.5mg/L。
砂滤+特异性炭吸附
:以保证有水出澄澈,可达到《工业废水綜合废气规则》(GB8978-1996)五级规则。
进而视觉效果
程序正常运行稳定性高后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
造纸废水处理工艺处理率达40%,结余合格尾气产生,年缩减废水处理工艺尾气产生1.5万吨。
清理代价约15元/吨,远少于该行业均衡。